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GEMINI (FB XT) EVG晶圆键合自动生产系统 芯片堆叠 3D IC 品牌:EVG型号:GEMINI FB XT晶圆尺寸:最大300mm对准技术:SmartView GEMINI (FB XT) EVG晶圆键合自动生产系统 芯片堆叠 3D IC 简介 对准晶圆键合是一种用于晶圆级封盖,晶圆级封装,工程衬底制造,晶圆级3D集成和晶圆减薄的实用技术。反过来,这些过程使MEMS器件,RF滤波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS图像传感器)实现
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2020-02-07 |
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EVG610 单面、双面光刻机 微流控加工 纳米压印 品牌:EVG型号:EVG610类型:汞灯加工定制:非加工定制用途:光刻 微流控加工 纳米压印蚀刻区长度:200mm蚀刻精度:0.001mm重量:250kg占地面积:0.55m²支持工艺:Soft UV-NILEVG610单面、双面光刻机 微流控加工 纳米压印 EVG®610是一款紧凑型多功能研发系统,可处理零碎片和最大200 mm的晶圆。 EVG610支持各种标准光刻
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2019-11-09 |
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